Optical Objective For Operation in Euv Spectral Region

WO2018194975 Art A2 25. Oktober 2018

Anmelder: Nikon Corporation, Smith, Daniel, Gene, Williamson, David, M. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018194975
Aktenzeichen: EP18722833
Anmeldetag: 16. April 2018
Veröffentlichung: 25. Oktober 2018
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G02B17/06G21K1/06

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: Nikon Corporation
Smith, Daniel, Gene
Williamson, David, M.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

3.320 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Optik & Fototechnik

Vertreten von