Method and apparatus for optimization of lithographic process

WO2018197143 Art A1 1. November 2018

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018197143
Aktenzeichen: EP18714754
Anmeldetag: 28. März 2018
Veröffentlichung: 1. November 2018
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G05B19/418

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik

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