Inspection device, inspection method, and method for producing object to be inspected

WO2018198242 Art A1 1. November 2018

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018198242
Aktenzeichen: EP17907687
Anmeldetag: 26. April 2017
Veröffentlichung: 1. November 2018
Rechtsraum: WO
IPC: G01N23/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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