Fault Current Limiter Providing Symmetrical Electrostatic Shielding

WO2018200102 Art A1 1. November 2018

Anmelder: Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2018200102
Aktenzeichen
EP18791588
Anmeldetag
22. März 2018
Veröffentlichung
1. November 2018
Rechtsraum
WO
IPC
H02H9/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.

Varian Semiconductor Equipment Associates war ein US-amerikanischer Hersteller von Halbleiteranlagen, seit 2011 Teil von Applied Materials. Die Patente betreffen Ionenimplantation und Halbleiterfertigung.

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