Metrology Guided Inspection Sample Shaping From Optical Inspection Results
WO2018204731
Art A1
8. November 2018
Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2018204731
- Aktenzeichen
- EP18794841
- Anmeldetag
- 4. Mai 2018
- Veröffentlichung
- 8. November 2018
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/66G01Q90/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kla-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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Vertreten von
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