Spray chamber, specimen atomizing and introducing device, analyzing device, and method for analyzing components of specimen

WO2018207606 Art A1 15. November 2018

Anmelder: Sumco Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018207606
Aktenzeichen: EP18797717
Anmeldetag: 24. April 2018
Veröffentlichung: 15. November 2018
Rechtsraum: WO
IPC: G01N27/62H01J49/04H01J49/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Sumco Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumco

Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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