Illumination system with curved 1d-patterned mask for use in euv-exposure tool

WO2018208912 Art A2 15. November 2018

Anmelder: Nikon Corporation, Smith, Daniel, Gene, Williamson, David, M., Flagello, Donis, G., Binnard, Michael, B. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018208912
Aktenzeichen: EP18725379
Anmeldetag: 9. Mai 2018
Veröffentlichung: 15. November 2018
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G02B17/06G21K1/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Nikon Corporation
Smith, Daniel, Gene
Williamson, David, M.
Flagello, Donis, G.
Binnard, Michael, B.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Optik & Fototechnik

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