Systems and methods for detecting undesirable dynamic behavior of liquid dispensed onto a rotating substrate

WO2018211439 Art A1 22. November 2018

Anmelder: Lam Research AG 🇦🇹

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018211439
Aktenzeichen: EP18730450
Anmeldetag: 16. Mai 2018
Veröffentlichung: 22. November 2018
Rechtsraum: WO
IPC: G01J5/00G01J5/04G01J5/02H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Lam Research AG
Land: 🇦🇹 Österreich

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

2.725 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

Vertreten von