Gas-liquid reactor, reactor tube, and film-forming apparatus

WO2018212303 Art A1 22. November 2018

Anmelder: National University Corporation Tokyo University of Agriculture and Technology, Taiyo Nippon Sanso Corporation, Taiyo Nippon Sanso CSE Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018212303
Aktenzeichen: EP18802799
Anmeldetag: 17. Mai 2018
Veröffentlichung: 22. November 2018
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/448C01B21/06C01G15/00C23C16/34H01L21/205

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: National University Corporation Tokyo University of Agriculture and Technology
Taiyo Nippon Sanso Corporation
Taiyo Nippon Sanso CSE Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Taiyo Nippon Sanso

Taiyo Nippon Sanso ist ein japanischer Hersteller von Industriegasen und zugehörigen Anlagen, Teil der Mitsubishi-Chemical-Gruppe. Der Patentbestand konzentriert sich auf Verfahrens- und Trenntechnik sowie Wärme-, Fertigungs- und Werkstofftechnik.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von