Cyclic flowable deposition and high-density plasma treatment proceses for high quality gap fill solutions

WO2018212999 Art A1 22. November 2018

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018212999
Aktenzeichen: EP18802945
Anmeldetag: 2. Mai 2018
Veröffentlichung: 22. November 2018
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/768H01L21/027H01L21/02H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von