Transport system having a magnetically levitated transportation stage

WO2018213825 Art A1 22. November 2018

Anmelder: Massachusetts Institute of Technology, ASML Netherlands B.V. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018213825
Aktenzeichen: EP18802505
Anmeldetag: 21. Mai 2018
Veröffentlichung: 22. November 2018
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20H02K41/03H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: Massachusetts Institute of Technology
ASML Netherlands B.V.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Massachusetts Institute of Technology

US-amerikanische Universität mit Sitz in Cambridge, Massachusetts, eine der weltweit führenden Forschungseinrichtungen. Aktiv in nahezu allen technischen und naturwissenschaftlichen Feldern, darunter Informatik, Ingenieurwesen, Materialwissenschaften und Biotechnologie.

636 Patente in unserer Datenbank

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

3.336 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

Vertreten von