Selective deposition of metal silicides

WO2018218078 Art A1 29. November 2018

Anmelder: Applied Materials, Inc., The Regents of the University of California 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018218078
Aktenzeichen: EP18805597
Anmeldetag: 24. Mai 2018
Veröffentlichung: 29. November 2018
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/02H01L21/324

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Applied Materials, Inc.
The Regents of the University of California
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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🇺🇸 University of California

US-amerikanisches öffentliches Universitätssystem mit zahlreichen Standorten (u.a. Berkeley, Los Angeles, San Diego). Die Regents of the University of California halten die Patente aus Forschung in Biotechnologie, Medizin, Materialwissenschaften und Ingenieurwesen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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