Methods and apparatus for predicting performance of a measurement method, measurement method and apparatus

WO2018219585 Art A1 6. Dezember 2018

Anmelder: Stichting Nederlandse Wetenschappelijk Onderzoek Instituten, Stichting VU, Universiteit van Amsterdam, ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018219585
Aktenzeichen: EP18724169
Anmeldetag: 3. Mai 2018
Veröffentlichung: 6. Dezember 2018
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G01J9/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Stichting Nederlandse Wetenschappelijk Onderzoek Instituten
Stichting VU
Universiteit van Amsterdam
ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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