Triphenylgermylsilan und Trichlorsilyl-Trichlorgerman für die Erzeugung von Germanium-Silizium-Schichten sowie Verfahren zu deren Herstellung aus Trichlorsilyl-Triphenylgerman

WO2018219753 Art A1 6. Dezember 2018

Anmelder: Evonik Operations GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018219753
Aktenzeichen: EP18724604
Anmeldetag: 23. Mai 2018
Veröffentlichung: 6. Dezember 2018
Rechtsraum: WO
IPC: C01B33/04C01B33/06C01B33/107H01L21/205

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Evonik Operations GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Evonik

Deutscher Spezialchemiekonzern mit Sitz in Essen. Entwickelt und produziert Chemikalien, Additive und Materialien für Industrie, Gesundheit, Ernährung und Konsumgüter.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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