Mask blank, method for manufacturing transfer mask, and method for manufacturing semiconductor device

WO2018221201 Art A1 6. Dezember 2018

Anmelder: HOYA Corporation, Hoya Electronics Singapore Pte. Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018221201
Aktenzeichen: EP18810818
Anmeldetag: 15. Mai 2018
Veröffentlichung: 6. Dezember 2018
Rechtsraum: WO
IPC: G03F1/54G03F1/50G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: HOYA Corporation
Hoya Electronics Singapore Pte. Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hoya

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, aktiv in den Bereichen optische Gläser, Halbleiterfotomasken und medizinische Endoskopie- sowie Augenheilkundeprodukte.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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