Submerged plasma generation device and liquid treatment device

WO2018221325 Art A1 6. Dezember 2018

Anmelder: SCREEN Holdings Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018221325
Aktenzeichen: EP18809942
Anmeldetag: 22. Mai 2018
Veröffentlichung: 6. Dezember 2018
Rechtsraum: WO
IPC: H05H1/24B01J19/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SCREEN Holdings Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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