Mems device and manufacturing method therefor

WO2018221753 Art A1 6. Dezember 2018

Anmelder: Korea Advanced Institute of Science and Technology 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2018221753
Aktenzeichen
EP17912217
Anmeldetag
29. Mai 2017
Veröffentlichung
6. Dezember 2018
Rechtsraum
WO
IPC
B81B7/02B81C1/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Korea Advanced Institute of Science and Technology
Land
🇰🇷 Südkorea
🇰🇷 KAIST

Südkoreanische technische Universität und Forschungsinstitution mit Fokus auf Ingenieurwissenschaften, Naturwissenschaften und Technologieentwicklung, unter anderem in Robotik und Elektronik.

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