Rotary clamping device

WO2018221854 Art A1 6. Dezember 2018

Anmelder: Ulvac Korea Co., Ltd., ULVAC, Inc. 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2018221854
Aktenzeichen
EP18809587
Anmeldetag
16. April 2018
Veröffentlichung
6. Dezember 2018
Rechtsraum
WO
IPC
B65G49/06H01L21/677H01L21/687
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Ulvac Korea Co., Ltd.
ULVAC, Inc.
Land
🇰🇷 Südkorea
🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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