Continuous cladding apparatus and method for nano-particles based on spatial atomic layer deposition

WO2018223413 Art A1 13. Dezember 2018

Anmelder: Huazhong University of Science and Technology 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2018223413
Aktenzeichen
EP17912844
Anmeldetag
15. Juni 2017
Veröffentlichung
13. Dezember 2018
Rechtsraum
WO
IPC
C23C16/455C23C16/44C23C16/54B82Y40/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Huazhong University of Science and Technology
Land
🇨🇳 China
🇨🇳 Huazhong University of Science and Technology

Die Huazhong University of Science and Technology ist eine chinesische Universität mit Sitz in Wuhan und breiter technischer sowie medizinischer Forschung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Mess-, Prüf- und Zeitmesstechnik sowie Halbleiter und elektrische Bauelemente, ergänzt durch Software und Medizintechnik. Anmeldungen erstrecken sich von 2000 bis 2025.

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