Closing device, vacuum system with closing device and method of operating a closing device

WO2018224150 Art A1 13. Dezember 2018

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018224150
Aktenzeichen: EP17731835
Anmeldetag: 8. Juni 2017
Veröffentlichung: 13. Dezember 2018
Rechtsraum: WO
IPC: F16K37/00F16K51/02F16K3/18F16K3/316

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Maschinenelemente & Fluidtechnik

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