Method of unloading an object from a support table

WO2018224218 Art A1 13. Dezember 2018

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018224218
Aktenzeichen: EP18722479
Anmeldetag: 3. Mai 2018
Veröffentlichung: 13. Dezember 2018
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20H01L21/683

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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