Vorrichtung zur Ausrichtung eines Optischen Elements

WO2018224245 Art A1 13. Dezember 2018

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018224245
Aktenzeichen: EP18728048
Anmeldetag: 14. Mai 2018
Veröffentlichung: 13. Dezember 2018
Rechtsraum: WO
IPC: G02B7/182G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

1.949 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Optik & Fototechnik

Vertreten von