System and method for measurement of alignment

WO2018224293 Art A1 13. Dezember 2018

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018224293
Aktenzeichen: EP18725839
Anmeldetag: 18. Mai 2018
Veröffentlichung: 13. Dezember 2018
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G01N21/95G03F9/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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