Low oxygen cleaning for cmp equipment

WO2018224977 Art A1 13. Dezember 2018

Anmelder: International Business Machines Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018224977
Aktenzeichen: EP18813513
Anmeldetag: 6. Juni 2018
Veröffentlichung: 13. Dezember 2018
Rechtsraum: WO
IPC: C11D1/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: International Business Machines Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 IBM

US-amerikanischer Technologiekonzern mit Sitz in Armonk, New York. International Business Machines entwickelt Hardware, Software, Cloud-Dienste sowie Lösungen für künstliche Intelligenz, Halbleiter und Unternehmens-IT.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe

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