Laser device, and euv light generation system

WO2018225117 Art A1 13. Dezember 2018

Anmelder: Gigaphoton Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018225117
Aktenzeichen: EP17912879
Anmeldetag: 5. Juni 2017
Veröffentlichung: 13. Dezember 2018
Rechtsraum: WO
IPC: H01S3/101H01S3/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Gigaphoton Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Gigaphoton

Gigaphoton ist ein japanischer Hersteller von Excimer-Lasersystemen für die Halbleiterlithografie, ein Gemeinschaftsunternehmen unter Beteiligung von Komatsu. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Elektronik. Anmeldungen erstrecken sich von 2001 bis 2023.

539 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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