Sputtering apparatus

WO2018225324 Art A1 13. Dezember 2018

Anmelder: Nissin Electric Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2018225324
Aktenzeichen
EP18813617
Anmeldetag
14. März 2018
Veröffentlichung
13. Dezember 2018
Rechtsraum
WO
IPC
C23C14/34H01L21/363H05H1/46
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Nissin Electric Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nissin Electric

Nissin Electric ist ein japanischer Hersteller elektrischer Anlagen und Halbleiterfertigungsausrüstung mit Sitz in Kyoto. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleitertechnik und Metallurgie, ergänzt durch Schaltungs- und Energietechnik. Die Anmeldungen stammen aus den Jahren 2000 bis 2025.

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