Composition for producing organic anti-reflective film having high etch rate

WO2018226016 Art A1 13. Dezember 2018

Anmelder: Dongjin Semichem Co., Ltd 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2018226016
Aktenzeichen
EP18813086
Anmeldetag
5. Juni 2018
Veröffentlichung
13. Dezember 2018
Rechtsraum
WO
IPC
G03F7/09G03F7/11G03F7/004C09D175/06
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Dongjin Semichem Co., Ltd
Land
🇰🇷 Südkorea
🇰🇷 Dongjin Semichem

Der Anmelder ist ein südkoreanischer Hersteller von Chemikalien für die Halbleiter- und Displayindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und Elektrobauelemente sowie auf Klebstoffe, Optik und Kunststofftechnik, insbesondere Fotoresists und Materialien für Dünnschichtprozesse. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.

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