Hydrogen Co-Gas When Using Aluminum Iodide As an Ion Source Material

WO2018226574 Art A1 13. Dezember 2018

Anmelder: Axcelis Technologies, Inc 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018226574
Aktenzeichen: EP18733477
Anmeldetag: 4. Juni 2018
Veröffentlichung: 13. Dezember 2018
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/317C23C14/48

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Axcelis Technologies, Inc
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Axcelis Technologies

Axcelis Technologies, Inc. ist ein US-amerikanischer Hersteller von Ionenimplantationsanlagen für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Beverly, Massachusetts. Das Patentportfolio ist fast vollständig auf Halbleiter und elektrische Bauelemente konzentriert, ergänzt um Oberflächentechnik und Mess- und Prüftechnik. Das Unternehmen meldet durchgehend seit 2000 an.

377 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von