Multi-column scanning electron microscopy system
WO2018226770
Art A1
13. Dezember 2018
Anmelder: KLA - Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2018226770
- Aktenzeichen
- EP18813002
- Anmeldetag
- 6. Juni 2018
- Veröffentlichung
- 13. Dezember 2018
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G03F7/20H01L21/027H01L21/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA - Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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