Alignment method, alignment device, and testing device

WO2018230190 Art A1 20. Dezember 2018

Anmelder: SCREEN Holdings Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018230190
Aktenzeichen: EP18818931
Anmeldetag: 8. Mai 2018
Veröffentlichung: 20. Dezember 2018
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/95G01N21/88G06T7/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SCREEN Holdings Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung

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