Light deflector, drawing device, illumination device, obstruction detection device, and light deflection method

WO2018230193 Art A1 20. Dezember 2018

Anmelder: SCREEN Holdings Co., Ltd., Osaka University 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2018230193
Aktenzeichen
EP18818443
Anmeldetag
8. Mai 2018
Veröffentlichung
20. Dezember 2018
Rechtsraum
WO
IPC
G02F1/29G02F1/31G03F7/20G02B26/10G02B26/12
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
SCREEN Holdings Co., Ltd.
Osaka University
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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