Light deflector, drawing device, illumination device, obstruction detection device, and light deflection method
WO2018230193
Art A1
20. Dezember 2018
Anmelder: SCREEN Holdings Co., Ltd., Osaka University 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2018230193
- Aktenzeichen
- EP18818443
- Anmeldetag
- 8. Mai 2018
- Veröffentlichung
- 20. Dezember 2018
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G02F1/29G02F1/31G03F7/20G02B26/10G02B26/12
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- SCREEN Holdings Co., Ltd.
Osaka University - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
SCREEN Holdings
Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.
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