Scale, image capturing device, image capturing system, kit, and method for adjusting image capturing device

WO2018230318 Art A1 20. Dezember 2018

Anmelder: National Institute of Advanced Industrial Science and Technology, Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2018230318
Aktenzeichen
EP18818531
Anmeldetag
28. Mai 2018
Veröffentlichung
20. Dezember 2018
Rechtsraum
WO
IPC
G01N21/01A61B10/00B82Y20/00B82Y30/00G01N21/359
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
Nikon Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 National Institute of Advanced Industrial Science and Technology

Staatliches japanisches Forschungsinstitut (AIST), das breit angelegte angewandte Forschung in Bereichen wie Materialwissenschaft, Energie, Elektronik und Biotechnologie betreibt.

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🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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