Seasoning method for plasma processing apparatuses and plasma etching method

WO2018230373 Art A1 20. Dezember 2018

Anmelder: Zeon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018230373
Aktenzeichen: EP18816651
Anmeldetag: 1. Juni 2018
Veröffentlichung: 20. Dezember 2018
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/3065

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Zeon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Zeon

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Zeon Corporation entwickelt synthetische Kautschuke, Spezialchemikalien und Elastomere für Anwendungen in Automobil-, Elektronik- und Batterieindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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