Device for estimating shape of figure pattern

WO2018230476 Art A1 20. Dezember 2018

Anmelder: Dainippon Printing Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2018230476
Aktenzeichen
EP18816589
Anmeldetag
8. Juni 2018
Veröffentlichung
20. Dezember 2018
Rechtsraum
WO
IPC
G03F1/36G03F1/70G06F17/50H01L21/3065
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Dainippon Printing Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Dainippon Printing

Dainippon Printing ist ein japanischer Konzern für Druck-, Verpackungs- und Elektroniktechnologien. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Druck- und Fertigungstechnik sowie Optik und Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Verpackungs- und Kunststofftechnik. Die Anmeldungen von 2000 bis 2020 betreffen unter anderem Abscheidungsmasken für die Displayfertigung.

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