Wafer inspecting device

WO2018230752 Art A1 20. Dezember 2018

Anmelder: Korea Basic Science Institute, Korea Institute of Science and Technology 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018230752
Aktenzeichen: EP17913179
Anmeldetag: 15. Juni 2017
Veröffentlichung: 20. Dezember 2018
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/66G01R1/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Korea Basic Science Institute
Korea Institute of Science and Technology
Land: 🇰🇷 Südkorea

🇰🇷 Korea Basic Science Institute

Das Korea Basic Science Institute ist eine staatliche südkoreanische Forschungseinrichtung mit Sitz in Daejeon, die wissenschaftliche Geräte und Analytik für andere Forschungseinrichtungen bereitstellt. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Mess-, Prüf- und Zeitmesstechnik sowie Halbleiter- und Elektronikbauelemente. Die Anmeldungen decken den Zeitraum von 2002 bis 2025 ab.

258 Patente in unserer Datenbank

🇰🇷 Korea Institute of Science and Technology

Südkoreanisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Seoul, das interdisziplinäre Forschung in Naturwissenschaften, Ingenieurwesen und Materialtechnologie betreibt und zahlreiche Patente aus seinen Instituten hervorbringt.

990 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

Vertreten von