Wafer inspecting device

WO2018230752 Art A1 20. Dezember 2018

Anmelder: Korea Basic Science Institute, Korea Institute of Science and Technology 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018230752
Aktenzeichen: EP17913179
Anmeldetag: 15. Juni 2017
Veröffentlichung: 20. Dezember 2018
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/66G01R1/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Korea Basic Science Institute
Korea Institute of Science and Technology
Land: 🇰🇷 Südkorea

🇰🇷 Korea Institute of Science and Technology

Südkoreanisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Seoul, das interdisziplinäre Forschung in Naturwissenschaften, Ingenieurwesen und Materialtechnologie betreibt und zahlreiche Patente aus seinen Instituten hervorbringt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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