Fluid device and use thereof

WO2018235634 Art A1 27. Dezember 2018

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018235634
Aktenzeichen: EP18820361
Anmeldetag: 8. Juni 2018
Veröffentlichung: 27. Dezember 2018
Rechtsraum: WO
IPC: G01N35/08B81B3/00G01N33/48G01N37/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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