Shape correction device and shape correction method for graphic patterns

WO2018235669 Art A1 27. Dezember 2018

Anmelder: Dai Nippon Printing Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018235669
Aktenzeichen: EP18820362
Anmeldetag: 12. Juni 2018
Veröffentlichung: 27. Dezember 2018
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G06F17/50G06N3/02H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Dai Nippon Printing Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Dai Nippon Printing

Japanisches Unternehmen der Druckindustrie mit Sitz in Tokio, das sich über klassische Druckerzeugnisse hinaus in Elektronikmaterialien, Displaykomponenten und Verpackungslösungen diversifiziert hat.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung

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