Composition for forming resist underlayer film having improved flattening properties

WO2018235949 Art A1 27. Dezember 2018

Anmelder: Nissan Chemical Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2018235949
Aktenzeichen
EP18820841
Anmeldetag
22. Juni 2018
Veröffentlichung
27. Dezember 2018
Rechtsraum
WO
IPC
G03F7/11C08G61/12G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Nissan Chemical Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nissan Chemical Corporation

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, das agrochemische Wirkstoffe, elektronische Materialien sowie Feinchemikalien für die Halbleiterindustrie herstellt. Das Unternehmen wurde 1887 gegründet und hieß bis 2015 Nissan Chemical Industries.

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