Lithographiebelichtungsvorrichtung

WO2019001639 Art A1 3. Januar 2019

Anmelder: Carl Zeiss Jena GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019001639
Aktenzeichen: EP18743385
Anmeldetag: 27. Juni 2018
Veröffentlichung: 3. Januar 2019
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G02B13/22G02B27/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss Jena GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss Jena

Carl Zeiss Jena GmbH ist eine Gesellschaft der Zeiss-Gruppe mit Sitz im thüringischen Jena, dem historischen Kernstandort des Optikkonzerns. Das Patentportfolio ist stark auf Optik und Fototechnik konzentriert, ergänzt um Mess- und Prüftechnik sowie Beleuchtungstechnik. Anmeldungen erfolgen kontinuierlich seit 2000.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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