Etching method and plasma etching material

WO2019002058 Art A1 3. Januar 2019

Anmelder: L'AIR LIQUIDE, Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019002058
Aktenzeichen: EP18742403
Anmeldetag: 20. Juni 2018
Veröffentlichung: 3. Januar 2019
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/3065H01L21/311H01L21/3213

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: L'AIR LIQUIDE, Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 Air Liquide

Französischer Konzern für Industriegase und medizinische Gase, gegründet 1902 auf Basis des Luftverflüssigungsverfahrens von Georges Claude. Beliefert Industrie, Gesundheitswesen und Elektronikfertigung mit Gasen und Anlagentechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von