Sensor head for crystal-oscillation-type film thickness monitor

WO2019003499 Art A1 3. Januar 2019

Anmelder: ULVAC, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019003499
Aktenzeichen: EP18824697
Anmeldetag: 6. März 2018
Veröffentlichung: 3. Januar 2019
Rechtsraum: WO
IPC: G01B17/02C23C14/52

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ULVAC, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik

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