Sic epitaxial wafer and method for manufacturing same

WO2019003668 Art A1 3. Januar 2019

Anmelder: Showa Denko K.K. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2019003668
Aktenzeichen
EP18823916
Anmeldetag
14. Mai 2018
Veröffentlichung
3. Januar 2019
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/205C23C16/42C30B25/20C30B29/36
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Showa Denko K.K.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Showa Denko

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, seit 2023 als Resonac Holdings firmierend. Aktiv in Petrochemie, Elektronikmaterialien, Batteriematerialien sowie Halbleiterchemikalien.

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