Semiconductor inspection device and semiconductor inspection method

WO2019003845 Art A1 3. Januar 2019

Anmelder: SCREEN Holdings Co., Ltd., National Institute of Advanced Industrial Science and Technology 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019003845
Aktenzeichen: EP18824784
Anmeldetag: 7. Juni 2018
Veröffentlichung: 3. Januar 2019
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/66G01N21/64

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: SCREEN Holdings Co., Ltd.
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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