Film deposition device

WO2019004359 Art A1 3. Januar 2019

Anmelder: ULVAC, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019004359
Aktenzeichen: EP18824910
Anmeldetag: 28. Juni 2018
Veröffentlichung: 3. Januar 2019
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/50H01L21/363H01L21/683

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ULVAC, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

1.137 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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