Composite sintered body, electrostatic chuck member, and electrostatic chuck device

WO2019004402 Art A1 3. Januar 2019

Anmelder: Sumitomo Osaka Cement Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019004402
Aktenzeichen: EP18823048
Anmeldetag: 28. Juni 2018
Veröffentlichung: 3. Januar 2019
Rechtsraum: WO
IPC: C04B35/10C04B35/185H01L21/683

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Sumitomo Osaka Cement Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumitomo Osaka Cement

Sumitomo Osaka Cement ist ein japanisches Unternehmen, das neben klassischer Zementproduktion auch elektronische und optische Materialien für die Halbleiterindustrie herstellt. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Optik und Fototechnik sowie Halbleiter und elektrische Bauelemente, ergänzt durch anorganische Chemie und Werkstoffe. Anmeldungen erstrecken sich von 2000 bis 2025.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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