Method and compound for controlling patterning of a resist material

WO2019005161 Art A1 3. Januar 2019

Anmelder: INTEL Corporation, Krysak, Marie, Blackwell, James M., Theofanis, Patrick, Bristol, Robert L. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019005161
Aktenzeichen: EP17915292
Anmeldetag: 30. Juni 2017
Veröffentlichung: 3. Januar 2019
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/033H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: INTEL Corporation
Krysak, Marie
Blackwell, James M.
Theofanis, Patrick
Bristol, Robert L.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Intel

US-amerikanischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Kalifornien. Entwickelt und produziert Prozessoren, Chipsätze sowie weitere Halbleiterkomponenten für Computer, Server und eingebettete Systeme.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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