Laser processing apparatus, methods of use and related arrangements

WO2019005530 Art A2 3. Januar 2019

Anmelder: Electro Scientific Industries, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019005530
Aktenzeichen: EP18824658
Anmeldetag: 19. Juni 2018
Veröffentlichung: 3. Januar 2019
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/67B23K26/38

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Electro Scientific Industries, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Electro Scientific Industries

Electro Scientific Industries ist ein US-amerikanischer Hersteller von Lasersystemen für die Halbleiter- und Elektronikfertigung und gehört zur MKS-Instruments-Gruppe. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Werkzeug- und Fertigungstechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Mess- und Optiktechnik. Anmeldungen laufen von 2000 bis 2024.

334 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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