Clearing out method, revealing device, lithographic apparatus, and device manufacturing method

WO2019007590 Art A1 10. Januar 2019

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019007590
Aktenzeichen: EP18725562
Anmeldetag: 28. Mai 2018
Veröffentlichung: 10. Januar 2019
Rechtsraum: WO
IPC: G03F9/00H01L23/544

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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