Vorrichtung zur Kontrollierten Abgabe eines Pulvers

WO2019007955 Art A1 10. Januar 2019

Anmelder: AIXTRON SE 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019007955
Aktenzeichen: EP18738269
Anmeldetag: 3. Juli 2018
Veröffentlichung: 10. Januar 2019
Rechtsraum: WO
IPC: B05B7/14B05B15/25B01F7/00B01F15/04B01F7/24G01F11/24

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: AIXTRON SE
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Aixtron

Aixtron ist ein deutscher Hersteller von Depositionsanlagen für die Halbleiterindustrie. Der Patentbestand konzentriert sich auf Metallurgie und Oberflächentechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Verfahrens- und Messtechnik. Die Anmeldungen aus 2000 bis 2025 betreffen unter anderem die Reinigung und den Betrieb von CVD-Reaktoren.

303 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Verfahrens- & Trenntechnik

Vertreten von