Semiconductor manufacturing device member and method for preparing same

WO2019009028 Art A1 10. Januar 2019

Anmelder: NGK Insulators, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2019009028
Aktenzeichen
EP18828740
Anmeldetag
13. Juni 2018
Veröffentlichung
10. Januar 2019
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/683
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
NGK Insulators, Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 NGK Insulators

Japanisches Industrieunternehmen mit Sitz in Nagoya. NGK Insulators fertigt Keramikprodukte, darunter Isolatoren, Abgaskatalysatorträger, Sensoren und Energiespeichersysteme für Energieversorgung, Automobil und Industrie.

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